無油真空泵是指真空泵腔體內沒有任何介質(氣、液)與被抽介質混合，如干式螺桿真空泵、干式旋片真空泵、渦旋真空泵、羅茨真空泵、爪式真空泵、活塞式與隔膜式真空泵。無油真空泵也通常叫干式真空泵。

隨著工業化學技術的不斷革新與發展，對化學流程的清潔要求以及環保排放要求越來迫切。一些老式的真空泵如油式旋片真空泵，滑閥真空泵等，對真空泵油的消耗，油煙的排放，以及對真空工藝介質的污染，使得其越來越跟不上化學工藝的發展，某些生產工藝必須使用一種清潔無污染的真空泵。

干式螺桿真空泵是一種理想的真空泵類型，發展的比較完善，效率高，并且可以做到大抽速的廣泛應用，是值得大力推廣的真空泵。在一些生產工藝代替油式和液環式真空泵有巨大優勢。